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据DIGITIMES Research,三星LED(Samsung LED)、LG Innotek等韩国LED厂自2009年起积极扩充有机金属化学气相磊晶(Metal Organic ChemicalVapor Deposition;MOCVD)设备产能,然现其仍主要向德商Aixtron与美商Veeco采购MOCVD设备,凸显韩国MOCVD设备近全数仰赖海外进口等课题。

因台湾地区、韩国、中国大陆等地区LED厂于2009~2010年扩大采购MOCVD设备,促使Aixtron、Veeco等MOCVD设备厂积极提升其机台产能,预料2010年全球MOCVD设备需求量将为800台左右,而2010年韩国占全球MOCVD设备需求比重将为4分之1左右。

有监于韩国MOCVD设备需求量可观,韩国政府为尽早摆脱近全数仰赖进口现况,已自2009年下半起推动LED设备自制化计划,预定于2010~2012年3年内投入500亿韩元(约4,500万美元)研发经费,用于推动MOCVD设备自制、引进制程自动化系统,及开发高速封装/检测设备。

韩厂周星工程(Jusung Engineering)于韩国MOCVD设备自制计划中,居主导企业地位,其设备已于2010年6月完成开发,而韩厂TopEngineering亦同样已于2010年6月完成MOCVD设备开发,随韩国挟其于半导体/LCD设备累积实力,加快布局LED核心设备领域,显现其于MOCVD设备自制化亦已渐具成果。

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